精密XY工作台
| 精密XY工作台 AX型 | |||||||||
| 采用经过精密切削的断面高度较低的LM滚动导轨和精密滚珠丝杠，是可以达到高精度定位馈送的精密XY工作台。由于是不使用专用座架的XY的组合，行程可以通过1轴工作台的组合自由选择。 |  |
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| 精密XY工作台 DX型 | |||||
| XY工作台：引导部使用双维一体式LM滚动导轨CSR型，CSR型滑快的外侧配置驱动滚珠丝杠，拔除中央方孔的无座架构造。高刚性顶台与底板框架之间的四边配置了双维一体式LM滚动导轨CSR型，实现了简单，高刚性、高度低的构造。 |  |
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| 精密XY工作台 EX型 | |||||
| 采用了双维一体式LM滚动导轨CSR型的无座架构造的简体XY工作台，通过采用固定双轴马达特殊构造，动作部的重量减低到极限，降低了XY各轴的惯性力，实现优异的高速响应性。 |  |
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